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微纳机电制造专业中心

微纳机电制造专业中心

Center for Micro-Nano Electro Mechanical System

 

中心概况

 

根据苏州纳米科技协同创新中心打造中国“旗舰式”纳米科技创新平台的目标,微纳机电制造专业中心的建设目标是协助苏州工业园区打造全国领先的MEMS产业创新生态系统和产业集群。专业中心建设期间,在MEMS传感器件及装备开发领域取得了丰硕的研究成果,并实现了行业龙头企业的成功孵化,为该领域的区域产业发展提供了强有力的支撑。

 

研究内容

 

新型MEMS器件研究与产业化

产业共性MEMS关键加工技术及装备研究与产业化

应用于微纳机电制造的纳米功能材料研究与产业化

园区MEMS传感器产业创新链建设


 

 

协同工作开展

 

 

平台建设

 

产业化平台与苏州工业园区纳米产业技术研究院共同推进建立了江苏省纳米技术产业创新中心“微纳制造技术研究所”“江苏省微纳制造创新中心”并获得省经信委支持;

 

国际合作平台建设:与美国加州大学洛杉矶分校共同建立了“微纳制造与材料国际联合实验室”;与新加坡国立大学联合建立了“西交大-新国大纳米技术联合实验室及公共服务平”

 

标志性成果